研磨膠帶 (Back Grinding Tape)
- 研磨製程時確實保護晶圓表面,防止研磨液、研磨碎屑侵入晶圓所造成的晶圓表面汙染。
- 撕離膠帶後,晶圓上幾乎不殘留黏著劑。
- 膠帶剝離晶圓後,於晶圓表面發現有微量的微塵時,可用純水洗
應用實例:
晶圓減薄,研磨製程。
UV 解黏切割膠帶 (UV Release cutting tape)
- 由PO/EPVC film為載膜所構成的UV解黏產品。
- 一般環境下貼合後可黏著於貼合面,經UV光源照射後,可以輕易剝離,不會有殘膠問題。
- 使用Polyolefin/EPVC材料具有優良切割及延展性。
應用實例:
適用於半導體製程中BGA/QFN/COB/玻璃裁切保護、拋光、研磨、顯影、切割製程,小面積銅箔及PCB切割製程。
切割膠帶 (Dicing Tape)
- 由藍色PVC膜所構成的保護膜產品,具有低黏的黏著力,適合於製程保護及切割。
- 一般環境下貼合後可黏著於貼合面,具有良好密著性,可以輕易剝離,不會有殘膠問題。
- 使用PVC 材料具有優良切割及延展性。
應用實例:
適用於半導體製程中BGA/QFN/COB/玻璃裁切保護、拋光、研磨、顯影、切割製程,小面積銅箔及PCB切割製程。
冷解膠帶 (Cool off tape)
- 冷解膠帶常溫時擁有輕微黏著力或無黏著力,製程中黏著力隨溫度上升,黏著力上升可黏牢被貼物體表面,回復常溫後黏著力隨溫度下降至輕微黏著力或無黏著力。
- 適用於切割加工、堆疊加工、Mini/Micro LED轉移用其他暫時性固定之低溫需求製程。
- 依加工材質不同,可多次循環使用
應用實例:
MLCC多層陶瓷電容熱切割製程中, 陶瓷材料貼付在膠膜上,加熱至60~80℃時黏性增加,固定防止切割時陶瓷尺寸移位,冷卻後黏性降低,所切割陶瓷片可容易剝離。